PHENOM（飞纳）台式扫描电镜

（1）基本介绍

飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版Phenom Pro，最高放大倍数超过10万倍，分辨率<100 nm，能胜任大部分微纳米结构样品的测样需求，还可以起到为场发射扫描电镜的测量筛选样品的作用。台式扫描电镜作为系统流变学研究所材料表征平台之一，能够在多方面的研究工作中发挥重要作用，例如：材料的构效关系研究、纳米和微米结构检测、微流道加工、微纳喷头制备等。

仪器性能与优势：

• 多种成像模式获取高清晰度图像

• 30秒快速成像，适合各类固体与粉末样品的快速检测

• 操作简便

• 1500小时寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝

• 自动灯丝对中，自动调节图像亮度、对比度

• 样品导航，全程定位样品扫描位置，想看哪里点哪里

• 无需喷金的条件下可直接观测各类材料

• 具有一定的防震功能，对表征环境要求不高

高质量图像

Phenom采用低加速电压（5、10、15 kV）、低真空度（0.1 mBar）、高灵敏度背散射电子探测器与长寿命高亮度低色差的CeB6灯丝的最优化组合，为样品提供高信噪比、表面细节丰富的优质图像。

20x-150,000x连续放大，分辨率<14 nm，大景深。探测背散射电子，展现清晰形貌结构。低加速电压，电子穿透深度浅，避免样品的深度破坏，展现更多表面细节。

Phenom（飞纳）得到的图像

30秒快速成像

Phenom（飞纳）专利样品杯和低真空设计，装入样品后30秒钟内即可得到高质量图像，耗时仅为传统电镜的1/10左右。

操作简便，全程导航

Phenom（飞纳）直观的用户界面，用户仅需较少的培训，掌握对控制旋钮和触摸屏的操作便可得到高质量的图像。Phenom独一无二的设计将通常电子显微镜所具有的操作复杂性降低到类似于光学显微镜的水平。

利用控制旋钮和触摸屏可以完成以下操作：

• 自动/手动聚焦

• 自动/手动亮度对比度调节

• 自动/手动灯丝对中调节

• 自动样品台

Phenom电镜采用马达驱动自动样品台，点击屏幕上希望观测的区域，即可轻松移动样品台。

（2）应用场景

分析测试中心的传统大型电镜属于稀缺科研资源，无法满足众多课题组的大量测样需求。通常使用这类电镜需要排队预约，为此常常耗费大量的等待时间，导致实验无法及时得到结果反馈。台式扫描电镜最快15秒抽真空，操作简单、载样快捷，该电镜的应用可以大幅提高研究效率。

（3）关键指标

• 最大放大倍数：150,000倍

• 最小分辨率：10纳米

（4）其他指标

• 光学显微镜放大倍数：20-135倍

• 探测器：高灵敏度四分割背散射电子探测器

• 灯丝材料：1,500小时CeB6灯丝

• 放置环境：采用专业防震设计

• 加速电压：5kV-15kV连续可调

• 抽真空时间：小于15秒